ULVAC愛發(fā)科  螺桿型干式真空泵  LS120A LS300A LS600A LS1200A

特點(diǎn)

■大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h，與以往的真空泵相比，排氣時間可縮短約20%。

■標(biāo)配的專用消音器能解決干式真空泵的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB（A）以下，

　這是一個在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中也不會打擾到您的噪音等級（*1)）

■C規(guī)格標(biāo)配的ECO-SHOCK技術(shù)是一種省電的愛發(fā)科技術(shù)。

　該技術(shù)可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下（*2)

■LS系列無需軸封氣體。以氮?dú)夂涂諝獾鹊呐艢鉃橹鞯那鍧嵐に嚳山档瓦\(yùn)行成本（*3)

■希望進(jìn)一步提高排氣速度的話，建議您搭配機(jī)械增壓泵使用。

　通過組合使用排氣速度可以達(dá)到120～1200m3/h

用途

LS系列有兩種規(guī)格。

首先是面向清潔工藝的規(guī)格。

為內(nèi)置ECO-SHOCK的低功耗型，適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。

具體來說，包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。

其次是面向輕工藝的規(guī)格。

具有表面處理和凈化功能，適于水蒸汽和揮發(fā)性藥液排氣等輕工藝用途。

具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業(yè)用途等

ULVAC愛發(fā)科  螺桿型干式真空泵  LS120A LS300A LS600A LS1200A

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科新寶、OKK機(jī)床、AMADA天田、MRM、新熱工業(yè)SHINNETSU、 ATAGO愛拓、ARIMITSU有光工

業(yè)、SHOWASOKKI昭和測器、TOPCON拓普康、NIPPON GEAR千斤頂、Watty瓦蒂

化學(xué)品：SHINETSU信越化學(xué)、THREEBOND三鍵、TOAGOSEI東亞合成、三井化學(xué)MITSUI、KONISHI小西

設(shè)備類產(chǎn)品:ONIKAZE赤松、SHOWADENKI昭和電機(jī)、OSAWA大澤、TORAY東麗、EOLUS真空企業(yè)

株式會社、OKK大宮工業(yè)、KOTOHIRA琴平工業(yè)、REVOX萊寶克斯、SONIC索尼克、CCS光源、MASDAC隧道式烘烤爐、鈴與工業(yè)株式會社納豆生產(chǎn)設(shè)備、IKURATOOLS育良精機(jī)、ANLET安耐

特、Kitagawa北川、YOSHIKAWA吉川鐵工、NAKAMURA中村留、SEIBU西部、KIWA紀(jì)和機(jī)械、

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泰克、SUZUKI鈴木、MIRAI未來工業(yè)、COSMOS新宇宙（SDM-72、SDM-73）、KETT凱特、柴田

科學(xué)SIBATA、FUNATECH船越龍、SEN日森、CHUCK小林鉄工、SAKAGUCHI坂口電熱、帝國TEIKOKU、仲精機(jī)NAKASEIKI、SEM坂本、J-SCOPE、HOWA、SOHGOHKEISO綜合計(jì)裝、谷沢製作

所、豊中ホツト研究所、 日本へルメシール株式社、MOBECA、VECCL、TEAC、Morokoshi、OSAKA、MUTOH武藤、KINTSUNE、TOYOOKI豐興、HIROTAKA、U-Technology、KDS、ORGANO奧加諾、ONOSOKKI小野

小眾產(chǎn)品：IRI軟水機(jī)、USUTANI臼谷電子點(diǎn)焊機(jī)、CNK磁性分離器、HIMU 靜音消除器、NAC油水分離器、BL DYNAMICS氣泡發(fā)生裝置、工業(yè)CT無損檢測 國產(chǎn)（可提供技術(shù)支持與方案）、hibikicorp

新能源動力電池： 日本旭精工、熊谷理機(jī)

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