ULVAC愛發(fā)科  多級羅茨型干泵 HR60 HR90 HR300 HR600  HR1200

特點

高溫區(qū)域均熱化

實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態(tài)排出。

UR系列可比HR系列更加高溫化。

氦氣密封

通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全。

瞬停對策

采取了1000msec以內瞬停對策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運轉狀態(tài)相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監(jiān)控

用途

CVD裝置

蝕刻裝置

灰化裝置

ALD、ALH 等

ULVAC愛發(fā)科  多級羅茨型干泵  HR60 HR90 HR300 HR600  HR1200

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